株式会社ラウンドサイエンス

フロー図とは

フロー図とは、演算データ、処理の流れ、装置内部などを表現するために記号を用いて表した図表のことです。
ガスクロなどの取扱説明書やカタログなど、いろんなところでフロー図は出てきます。  フロー図には電気配線図や業務フローなど様々な種類があり、分野によって記号も多種多様です。  今回は我々がよく目にする、ガスの流路を簡略化したフロー図の記号の意味について、代表的なものを紹介します。

記号一覧と説明

2方バルブ
1本のガスの流路を手動で遮断・流通します。

3方バルブ
1本のガスの流路を手動で2方向のいずれかに向かわせます。 「COM」の位置から他の2箇所のどちらかにしか流路変更はできません。

2方電磁弁(2方ソレノイドバルブ)
2方バルブを手動ではなく電動で開閉するバルブです。
「NC」…ノーマルクローズは、電気が通っていなければ閉じているという意味。
「NO」…ノーマルオープンは、電気が通っていなければ開いているという意味。

3方電磁弁(3方ソレノイドバルブ)
3方バルブを手動ではなく電動で操作するバルブです。「COM」の位置から他の2箇所のどちらかにしか流路変更はできません。非通電時は「COM」と「NO」が通じ、通電時は「COM」と「NC」が通じます。

空圧弁
空気などのガス圧力を利用し、内部のシリンダーを動かして流路を開閉する部品です。高温部や防爆部など、手動弁・電磁弁共に使用できない箇所などで使用されます。駆動させるための圧縮空気などを用意する必要があります。

減圧弁(レギュレータ)
1次側の高圧ガスを調圧し、2次側に安定した圧力のガスを供給します。手動で圧力を調整できるものだけでなく、電動で圧力を調整できるものもあります。

背圧弁(バックプレッシャーレギュレータ)
1次側のガスを任意の圧力まで溜め込むことができます。任意の圧力に到達すれば、それ以上の圧力にならず2次側にガスは排出されます。

安全弁(リリーフバルブ)
1次側に接続されている蒸気タンクなどの、内圧の上昇による破裂の事故を防止するための部品です。1次側が設定圧力以上になればガスは2次側へ排気されます。

逆止弁
ガスの逆流を防止する部品です。1次側から2次側(矢印の方向)にしかガスは流れません。

圧力計
ガス流路やタンク内部の圧力を表示する部品です。ボンベの2次側、減圧弁の2次側、背圧弁1次側に設置される場合が多くあります。

フィルター(ラインフィルタ)
配管内に浮遊するダスト(ゴミ)などを捕集し、2次側にきれいなガスを供給する部品です。

ニードルバルブ
ガスの流路を針、或いは棒状のものを上下させて開閉し、流量を変更させる部品です。1次側の圧力が一定でないと、安定した流量に制御できないので注意が必要です。

面積式流量計
ガス流路の流量を測る部品です。 内部のフロート(浮き)の位置を目視することで流量を判断するシンプルな流量計です。

ニードルバルブ付き面積式流量計
面積式流量計とニードルバルブが一体になった部品です。フロートの動きを見ながらツマミを回して流量を変えることができる、わかりやすい流量計です。

マスフローセンサー(マスフローメータ)
ガス流路の流量を測る部品です。面積式流量計と比べて精度の高い流量測定が可能です。流量値を電気信号にて出力し、流量値を表示させたり、他の電気機器に流量値を送ったりできます。

マスフローコントローラ
ガス流路の流量測定・制御する部品です。(マスフローセンサーに流量を制御する機能が付加された部品です。)流量値の電気信号出力機能や、外部からの電気信号を受け取っての流量変更など、様々な機能を持ちます。

キャピラリー
内径の細い配管です。意図的にガス流路内に抵抗を設置したいとき、使用する場合があります。(熱交換器など、長い配管を意味する部品でも、左図を使用する場合があります。)

ヒーター
様々な部品を加熱するためのヒーターです。多くの場合、温調器(対象部分を何度にするのか設定できる機器)と対になっています。

ポンプ
気体や液体を送るポンプです。ポンプにもたくさんの種類が存在しますので、用途に合わせたポンプを使う必要があります。

ガスクロなどの取扱説明書やカタログなど、いろんなところでフロー図は出てきます。記号の意味を知っておけば、どんなフロー図でも理解できるでしょう。